单温区PE-CVD系统
产品简介
单温区PE-CVD系统是一款化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一系列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。
产品特点
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高性能射频电源.等离子体更稳定;
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滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区;
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可实现快速升温和降温功能;与传统CVD相比较,生长温度更低。
技术参数
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项目
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TFE-1200-50-i-220
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可达温度
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1150℃(短期)
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额定温度
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1100℃
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升温速率
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≤10℃/min
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控制精度
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±1℃
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炉管尺寸
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Φ30/50/60*1200mm
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炉膛尺寸
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Φ80*220mm
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加热区长度
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220mm
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恒温区长度
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80mm
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加热元件
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国产电阻丝
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额定功率
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3KW
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供气系统
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三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)
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射频电源
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射频功:5-500W;射频频:13.56MHz;匹配方式:自动匹配
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真空系统
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双级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等)
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外形尺寸
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1250510810mm
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应用领域
管式炉主要运用于冶金,玻璃,热处理,锂电正负极材料,新能源,磨具等行业,测定材料在一定气温条件下的*设备。炉型结构简单,操作容易,便于控制,能连续生产。
注意事项
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在开始使用的时候,先要熟读使用说明书,其次要保证用电安全,各项指标检测完毕,然后再开始工作。
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在工作中,*戴上隔高温手套和口罩,以免吸入管式炉在高温下发挥的有害气体。
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每次工作后,要保持管内清洁,不要残留样品在炉内,以免出现化学反应,造成刚玉管的开裂,另外,在高温送样或者取样的时候也会造成刚玉管的断裂,所以尽量控制在200度以内进行取样放样。
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管式炉量放在通风处,不要放在易燃易爆或者有腐蚀性气体的环境中。
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在温度低于300度的时候,再次升温的速率不能过快
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使用完毕后,一定要关闭电源。
公司实力
安徽科幂仪器有限公司(证券代码:612052)成立于2014年,公司部位于合肥市*高新技术开发区,拥有9189㎡的研发制造基地,是一家*从事科研仪器设备研发、制造的*高新技术企业。 公司学术带头人为科学技术大学博导,技术团队由2名博士、11名硕士和数名高级工程师组成,本科及以上学历占比过80%,拥有一支高水平、跨学科的技术研发团队。科幂研制的多种具有完全知识产权的科研仪器并*投放市场,产品覆盖国内所有“985”、“211”高校实验室及国内外1000多家科研单位,成为科研精密反应仪器设备领域首屈一指的。