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安徽科幂仪器有限公司
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科幂 单温区PE-CVD系统

价格 电议
更新时间
2022-04-06 09:32:15
起订量
1件起批
服务
 资质已审查
发货地
安徽省 合肥市
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详细介绍

单温区PE-CVD系统

产品简介

 单温区PE-CVD系统是一款化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一系列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。

产品特点

  • 高性能射频电源.等离子体更稳定;
  • 滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区;
  • 可实现快速升温和降温功能;与传统CVD相比较,生长温度更低。

技术参数

项目 TFE-1200-50-i-220
可达温度 1150℃(短期)
额定温度 1100℃
升温速率 ≤10℃/min
控制精度 ±1℃
炉管尺寸 Φ30/50/60*1200mm
炉膛尺寸 Φ80*220mm
加热区长度 220mm
恒温区长度 80mm
加热元件 国产电阻丝
额定功率 3KW
供气系统 三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)
射频电源 射频功:5-500W;射频频:13.56MHz;匹配方式:自动匹配
真空系统 双级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等)
外形尺寸 1250510810mm

应用领域

管式炉主要运用于冶金,玻璃,热处理,锂电正负极材料,新能源,磨具等行业,测定材料在一定气温条件下的*设备。炉型结构简单,操作容易,便于控制,能连续生产。

注意事项

  1. 在开始使用的时候,先要熟读使用说明书,其次要保证用电安全,各项指标检测完毕,然后再开始工作。
  2. 在工作中,*戴上隔高温手套和口罩,以免吸入管式炉在高温下发挥的有害气体。
  3. 每次工作后,要保持管内清洁,不要残留样品在炉内,以免出现化学反应,造成刚玉管的开裂,另外,在高温送样或者取样的时候也会造成刚玉管的断裂,所以尽量控制在200度以内进行取样放样。
  4. 管式炉量放在通风处,不要放在易燃易爆或者有腐蚀性气体的环境中。
  5. 在温度低于300度的时候,再次升温的速率不能过快
  6. 使用完毕后,一定要关闭电源。

公司实力

安徽科幂仪器有限公司(证券代码:612052)成立于2014年,公司部位于合肥市*高新技术开发区,拥有9189㎡的研发制造基地,是一家*从事科研仪器设备研发、制造的*高新技术企业。 公司学术带头人为科学技术大学博导,技术团队由2名博士、11名硕士和数名高级工程师组成,本科及以上学历占比过80%,拥有一支高水平、跨学科的技术研发团队。科幂研制的多种具有完全知识产权的科研仪器并*投放市场,产品覆盖国内所有“985”、“211”高校实验室及国内外1000多家科研单位,成为科研精密反应仪器设备领域首屈一指的。